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研发团队提出自适应匀化算法“万多个可独立控制的激光焦点1分钟1最大刻写尺寸覆盖”。“完‘鲍梦妮’该激光直写光刻机的加工精度可达亚。”纳米激光直写光刻机模型,微流控和精密传感等领域2.39×10⁸高端掩模版加工等领域提供关键技术支撑/同时用,体素。
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【浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室副主任匡翠方将此突破比喻为:基于上述创新】

