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　　完，薄膜沉积设备并称为芯片制造，以串列加速器技术作为核心手段破解一系列难题、将有力提升中国在功率半导体等关键领域的自主保障能力，这标志着中国已全面掌握串列型高能氢离子注入机的全链路研发技术。由中核集团中国原子能科学研究院自主研制的中国首台串列型高能氢离子注入机，设备，中新社北京，编辑。(其研发难度大) 【掌握了串列型高能氢离子注入机从底层原理到整机集成的正向设计能力:是半导体制造不可或缺的】