中国科研机构发明新型激光直写光刻机

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但传统单通道激光直写在加工速度上存在瓶颈3D纳米激光直写光刻机模型。　秒的超高打印速率 是微纳加工领域的前沿方向

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【万通道:为大面积微纳结构的高通量】

　　《中国科研机构发明新型激光直写光刻机》（2026-04-11 07:25:57版）

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