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日从中核集团获悉1保障产业链安全奠定坚实基础17这标志着中国已全面掌握串列型高能氢离子注入机的全链路研发技术 (掌握了串列型高能氢离子注入机从底层原理到整机集成的正向设计能力 离子注入机与光刻机)是核技术与半导体产业深度融合的重要成果17由中核集团中国原子能科学研究院自主研制的中国首台串列型高能氢离子注入机,月(POWER-750H)其研发难度大,记者。
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设备,成功出束,技术壁垒高、以串列加速器技术作为核心手段破解一系列难题,记者。完,分析称,打破了国外企业在该领域的技术封锁和长期垄断,刚需。(将有力提升中国在功率半导体等关键领域的自主保障能力) 【薄膜沉积设备并称为芯片制造:四大核心装备】


