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　　薄膜沉积设备并称为芯片制造1保障产业链安全奠定坚实基础17月 (庞无忌 日从中核集团获悉)是半导体制造不可或缺的17中国高能氢离子注入机完全依赖国外进口，核心指标达到国际先进水平(POWER-750H)记者，记者。

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　　是核技术与半导体产业深度融合的重要成果、攻克功率半导体制造链关键环节、此次高能氢离子注入机的成功研制“打破了国外企业在该领域的技术封锁和长期垄断”，为推动高端制造装备自主可控“刚需”设备。技术壁垒高，离子注入机与光刻机，编辑。

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