中国科研机构发明新型激光直写光刻机

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日电3D提出数字微镜协同微透镜阵列的光场调控方案。　鲍梦妮 如何

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【匡翠方介绍:目前该激光直写光刻机实现】

　　《中国科研机构发明新型激光直写光刻机》（2026-04-12 17:49:12版）

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